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液空展示系列创新解决方案
发布时间:2013-03-26 16:17:12 作者:
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  CCINTV上海分部供稿
  3月19日,2013国际平板显示展在上海揭幕。同期展出的还有全球最大规模的泛半导体产业的两大展览。约1200名国内外展商参展,6万专业观众观展。
  液化空气展示的高纯度大宗气体、硅烷、高纯氨等电子特气产品以及新一代的反应腔清洗解决方案,受到广大客户和专业观众的好评与青睐。
  硅烷是半导体、平板显示器和光伏产业广泛并大量使用的电子特气,液空是目前全球唯一能自主生产硅烷的工业气体公司;而液空领先的现场制氟技术,则是高纯氨的替代方案,清洗高效且安全环保;液空的先进材料应用于化学气相沉积与原子层沉积等半导体制程,曾数次荣获多项国际集成电路行业大奖。
  据悉,液空在南通的高纯氨工厂,可满足国内用户所需,缓解了长期依赖进口,且成本高、供货期长的矛盾。(虞仲义 张岸平 刘桂彬)
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